TY - PAT AU - Zhang, Yanli AU - Vassen, Robert AU - Mack, Daniel Emil AU - Mauer, Georg TI - Sensoren sowie Verfahren zur Herstellung von Sensoren M1 - FZJ-2019-01979 SN - Pt1.2663 PY - 2016 LB - PUB:(DE-HGF)23 IS - DE102014011552A1 UR - https://juser.fz-juelich.de/record/861521 ER -