TY  - PAT
AU  - Zhang, Yanli
AU  - Vassen, Robert
AU  - Mack, Daniel Emil
AU  - Mauer, Georg
TI  - Sensoren sowie Verfahren zur Herstellung von Sensoren
M1  - FZJ-2019-01979
SN  - Pt1.2663
PY  - 2016
LB  - PUB:(DE-HGF)23
IS  - DE102014011552A1
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/861521
ER  -