%0 Conference Paper
%A Uhlenbruck, Sven
%T Sputtertechnologien für innovative Batteriekonzepte
%M FZJ-2019-05136
%D 2019
%B Vakuum und Plasma 2019
%C 8 Oct 2019 - 10 Oct 2019, Dresden (Germany)
Y2 8 Oct 2019 - 10 Oct 2019
M2 Dresden, Germany
%F PUB:(DE-HGF)6
%9 Conference Presentation
%U https://juser.fz-juelich.de/record/865847