%0 Thesis
%A Pingen, Katrin
%T Wachstum epitaktischer HfO2 Dünnschichten mittels PLD
%I RWTH Aachen University
%V Masterarbeit
%M FZJ-2021-00829
%P 80
%D 2020
%Z Masterarbeit, RWTH Aachen University, 2020
%F PUB:(DE-HGF)19
%9 Master Thesis
%U https://juser.fz-juelich.de/record/890245