TY  - THES
AU  - Pingen, Katrin
TI  - Wachstum epitaktischer HfO2 Dünnschichten mittels PLD
PB  - RWTH Aachen University
VL  - Masterarbeit
M1  - FZJ-2021-00829
SP  - 80
PY  - 2020
N1  - Masterarbeit, RWTH Aachen University, 2020
LB  - PUB:(DE-HGF)19
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/890245
ER  -