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TY - PAT AU - Lerche, Christoph AU - Berneking, Arne AU - Shah, N. J. TI - [DE] SIPM-SENSORCHIP[EN] SIPM SENSOR CHIP[FR] PUCE DE CAPTEUR DE PHOTOMULTIPLICATEUR EN SILICIUM M1 - FZJ-2021-02014 SN - EP3394640B1 PY - 2021 LB - PUB:(DE-HGF)23 IS - EP3394640B1 UR - https://juser.fz-juelich.de/record/892346 ER -