%0 Conference Paper
%A Yin, Chenyang
%T Herstellung und Charakterisierung von Oxid-Dünnschichten für neuartige funktionale Materialien
%M FZJ-2021-03041
%D 2021
%B Digital Institute Seminar JCNS-2
%C ,  (online seminar)
M2 , online seminar
%F PUB:(DE-HGF)31
%9 Talk (non-conference)
%U https://juser.fz-juelich.de/record/894106