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150 _ _ |a Verbundvorhaben: TuKaN - Tunnelkontakte auf N-Typ: für die Metallisierung mit Siebdruck, Teilvorhaben: Herstellung von Solarzellen mit passivierendem Tunnelkontakt und funktionalen Schichten aus katalytischer und plasmaunterstützter chemischer Gasphasenab
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680 _ _ |a Ziel des Teilprojekts ist die Herstellung von Solarzellen mit passivierendem Tunnelkontakt und funktionalen Schichten aus katalytischer (Cat-) und plasmaunterstützter (PE-) chemische Gasphasenabscheidung (CVD). Dabei stehen die Entwicklung von industriell
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Marc 21