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000896641 150__ $$aVerbundvorhaben: TOP - Hochleitfähige transparente Oxide für die Photovoltaik; Teilvorhaben: Indium-freie transparente leitfähige Oxide mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung für Siliziumheterostruktur-Solarzellen und Silizium/Perowsk$$y2020-12-01 - 2023-11-30
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000896641 680__ $$aZiel des Teilvorhabens ist es, Indium-freie TCOs (transparent conducting oxides) hergestellt durch PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) für HJT (Heterojunction)-Solarzellen und Perowskit/Silizium-Tandemsolarzellen abzuscheiden. Für die HJT-So
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