TY  - PAT
AU  - Berneking, Arne
AU  - Shah, N. J.
AU  - Lerche, Christoph
TI  - Sensor chip
M1  - FZJ-2022-02781
SN  - US11054533B22021-07-06
PY  - 2021
LB  - PUB:(DE-HGF)23
IS  - US201716311753A2017-06-20
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/908712
ER  -