Physical Vapor Deposition (PVD): Principles, Processes &amp; Applications

Liu, Jialiang

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TY  - CONF
AU  - Liu, Jialiang
TI  - Physical Vapor Deposition (PVD): Principles, Processes &amp; Applications
PB  - RWTH Aachen
M1  - FZJ-2026-00494
PY  - 2025
T2  - Electrochemistry Days 2025
CY  - 1 Sep 2025 - 2 Sep 2025, AA Eindhoven (Netherlands)
Y2  - 1 Sep 2025 - 2 Sep 2025
M2  - AA Eindhoven, Netherlands
LB  - PUB:(DE-HGF)31
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/1050751
ER  -

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