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Siliziumkarbid-Dünnschichten, hergestellt durch CVD mittels flüssigen Präkursor enthaltend Silizium und Kohlenstoff

 ;

2026

Patent No.: DE 102024127353 A1; 102024127353.4


Contributing Institute(s):
  1. Photovoltaik (IMD-3)
Research Program(s):
  1. 1212 - Materials and Interfaces (POF4-121) (POF4-121)

Appears in the scientific report 2026
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Dokumenttypen > Patente > Patente
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 Datensatz erzeugt am 2026-06-15, letzte Änderung am 2026-06-17


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