TY  - CONF
AU  - Durgun Özben, E.
AU  - Lopes, J. M. J.
AU  - Roeckerath, M.
AU  - Nichau, A.
AU  - Luptak, R.
AU  - Lenk, S.
AU  - Besmehn, A.
AU  - Ghyselen, B.
AU  - Zhao, Q. T.
AU  - Schubert, J.
AU  - Mantl, S.
TI  - High mobility strained SOI MOSFETs with LaScO3/TiN gate stacks fabricated with a replacement gate process
M1  - PreJuSER-11561
PY  - 2010
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
Y2  - 18 Mar 2010
M2  - Glasgow, Scotland, 
LB  - PUB:(DE-HGF)6
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/11561
ER  -