TY  - CONF
AU  - Minamisawa, R. A.
AU  - Habicht, S.
AU  - Knoll, L.
AU  - Feste, S. F.
AU  - Zhao, Q. T.
AU  - Kernevez, N.
AU  - Bourdelle, K.K.
TI  - From strained SOI layers to sSi NW: stress and electrical characterization
M1  - PreJuSER-12107
PY  - 2010
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
Y2  - 24 May 2010
M2  - Stockholm, Schweden, 
LB  - PUB:(DE-HGF)31
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/12107
ER  -