TY  - JOUR
AU  - Ding, Kaining
AU  - Aeberhard, Urs
AU  - Beyer, Wolfhard
AU  - Astakhov, Oleksandr
AU  - Köhler, Florian
AU  - Breuer, Uwe
AU  - Finger, Friedhelm
AU  - Carius, Reinhard
AU  - Rau, Uwe
TI  - Annealing induced defects in SiC, SiO x single layers, and SiC/SiO x hetero-superlattices
JO  - Physica status solidi / A
VL  - 209
IS  - 10
SN  - 1862-6300
CY  - Weinheim
PB  - Wiley-VCH
M1  - FZJ-2013-01818
SP  - 1960 - 1964
PY  - 2012
LB  - PUB:(DE-HGF)16
UR  - <Go to ISI:>//WOS:000310282000024
DO  - DOI:10.1002/pssa.201200191
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/133281
ER  -