%0 Thesis
%A Bagdahn, Robert
%T Optimierung der maschinellen Oberflächenbehandlung von Si und SiGe
%I FH Jülich-Aachen
%V BA
%M FZJ-2013-01885
%P 79 S.
%D 2012
%Z FH Jülich-Aachen, Bachelorarbeit, 2012
%K Unveröffentlichte Hochschulschrift (GND)
%F PUB:(DE-HGF)2
%9 Bachelor Thesis
%U https://juser.fz-juelich.de/record/133437