Bachelor Thesis

FZJ-2013-01885

http://join2-wiki.gsi.de/foswiki/pub/Main/Artwork/join2_logo100x88.png Optimierung der maschinellen Oberflächenbehandlung von Si und SiGe

Bagdahn, R. (Corresponding author)FZJ*

2012

Keyword(s): Unveröffentlichte Hochschulschrift

Note: FH Jülich-Aachen, Bachelorarbeit, 2012

---

Contributing Institute(s):

1. Halbleiter-Nanoelektronik (PGI-9)

Research Program(s):

1. 421 - Frontiers of charge based Electronics (POF2-421) (POF2-421)

Appears in the scientific report 2012

---