000133437 001__ 133437
000133437 005__ 20210129211452.0
000133437 037__ $$aFZJ-2013-01885
000133437 1001_ $$0P:(DE-HGF)0$$aBagdahn, Robert$$b0$$eCorresponding author
000133437 245__ $$aOptimierung der maschinellen Oberflächenbehandlung von Si und SiGe$$f2012-08-27
000133437 260__ $$c2012
000133437 300__ $$a79 S.
000133437 3367_ $$0PUB:(DE-HGF)2$$2PUB:(DE-HGF)$$aBachelor Thesis$$bbachelor$$mbachelor$$s1367831799_965
000133437 3367_ $$02$$2EndNote$$aThesis
000133437 3367_ $$2DRIVER$$abachelorThesis
000133437 3367_ $$2DataCite$$aOutput Types/Supervised Student Publication
000133437 3367_ $$2ORCID$$aSUPERVISED_STUDENT_PUBLICATION
000133437 3367_ $$2BibTeX$$aMASTERSTHESIS
000133437 502__ $$aFH Jülich-Aachen, Bachelorarbeit, 2012$$bBA$$cFH Jülich-Aachen$$d2012
000133437 536__ $$0G:(DE-HGF)POF2-421$$a421 - Frontiers of charge based Electronics (POF2-421)$$cPOF2-421$$fPOF II$$x0
000133437 650_7 $$0V:(DE-588b)4276536-5$$2GND$$aUnveröffentlichte Hochschulschrift$$xBachelorarbeit
000133437 8564_ $$uhttps://juser.fz-juelich.de/record/133437/files/FZJ-2013-01885.pdf$$yRestricted
000133437 909CO $$ooai:juser.fz-juelich.de:133437$$pVDB
000133437 9101_ $$0I:(DE-588b)5008462-8$$6P:(DE-HGF)0$$aForschungszentrum Jülich GmbH$$b0$$kFZJ
000133437 9101_ $$0I:(DE-588b)5008462-8
000133437 9101_ $$kFZJ
000133437 9101_ $$aForschungszentrum Jülich GmbH
000133437 9101_ $$6P:(DE-HGF)0
000133437 9101_ $$b0
000133437 9131_ $$0G:(DE-HGF)POF2-421$$1G:(DE-HGF)POF2-420$$2G:(DE-HGF)POF2-400$$3G:(DE-HGF)POF2$$4G:(DE-HGF)POF$$aDE-HGF$$bSchlüsseltechnologien$$lGrundlagen zukünftiger Informationstechnologien$$vFrontiers of charge based Electronics$$x0
000133437 9141_ $$y2012
000133437 9201_ $$0I:(DE-Juel1)PGI-9-20110106$$kPGI-9$$lHalbleiter-Nanoelektronik$$x0
000133437 980__ $$abachelor
000133437 980__ $$aVDB
000133437 980__ $$aUNRESTRICTED
000133437 980__ $$aI:(DE-Juel1)PGI-9-20110106