TY  - THES
AU  - Bagdahn, Robert
TI  - Optimierung der maschinellen Oberflächenbehandlung von Si und SiGe
PB  - FH Jülich-Aachen
VL  - BA
M1  - FZJ-2013-01885
SP  - 79 S.
PY  - 2012
N1  - FH Jülich-Aachen, Bachelorarbeit, 2012
KW  - Unveröffentlichte Hochschulschrift (GND)
LB  - PUB:(DE-HGF)2
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/133437
ER  -