%0 Thesis
%A Romanczyk, Peter
%T Charakterisierung von Aluminium- und Seltenerd-dotierten HfO2 high-k / Metall Gatestacks
%I RWTH Aachen
%V MS
%M FZJ-2014-01287
%P 63
%D 2014
%Z RWTH Aachen, Masterarbeit, 2013
%K Unveröffentlichte Hochschulschrift (GND)
%F PUB:(DE-HGF)19
%9 Master Thesis
%U https://juser.fz-juelich.de/record/151308