TY  - THES
AU  - Romanczyk, Peter
TI  - Charakterisierung von Aluminium- und Seltenerd-dotierten HfO2 high-k / Metall Gatestacks
PB  - RWTH Aachen
VL  - MS
M1  - FZJ-2014-01287
SP  - 63
PY  - 2014
N1  - RWTH Aachen, Masterarbeit, 2013
KW  - Unveröffentlichte Hochschulschrift (GND)
LB  - PUB:(DE-HGF)19
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/151308
ER  -