TY  - JOUR
AU  - Holländer, B.
AU  - Lenk, S.
AU  - Mantl, S.
AU  - Trinkaus, H.
AU  - Kirch, D.
AU  - Luysberg, M.
AU  - Hackbarth, T.
AU  - Herzog, H.-J.
AU  - Fichtner, P. F. P.
TI  - Strain relaxation of pseudomorphic Si(1-X)GeX/Si(100) heterostructures after hydrogen or helium ion implantation for virtual substrate fabrication
JO  - Nuclear instruments & methods in physics research / B
VL  - 175/177
SN  - 0168-583X
CY  - Amsterdam [u.a.]
PB  - Elsevier
M1  - PreJuSER-40012
SP  - 357 - 367
PY  - 2001
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
LB  - PUB:(DE-HGF)16
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/40012
ER  -