TY  - CONF
AU  - Hogg, S. M.
AU  - Rije, E.
AU  - Moers, J.
AU  - Trellenkamp, S.
AU  - Bay, H. L.
AU  - Lenk, S.
AU  - Mantl, S.
TI  - Formation of shallow junctions in Si-nanostructures
M1  - PreJuSER-40879
PY  - 2001
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
Y2  - 10 Sep 2001
M2  - Erlangen, 
LB  - PUB:(DE-HGF)31
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/40879
ER  -