%0 Patent %A Poppe, Ulrich %A Dunin-Borkowski, Rafal %A Thust, Andreas %T Verfahren und Vorrichtungen zur Modulation eines Strahls elektrisch geladener Teilchen sowie Anwendungsbeispiele für die praktische Anwendung solcher Vorrichtungen %M FZJ-2017-00988 %@ 102015116788 %D 2016 %F PUB:(DE-HGF)23 %9 Patent %N 20161201 %U https://juser.fz-juelich.de/record/826771