Untersuchung von Interdiffusion, elastischer Gitterverzerrung und Relaxation in epitaktischen Si$_{1-x}$Ge$_{x}$/Si-Heterostrukturen mit Ionenstreuung

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Untersuchung von Interdiffusion, elastischer Gitterverzerrung und Relaxation in epitaktischen Si$_{1-x}$Ge$_{x}$/Si-Heterostrukturen mit Ionenstreuung - FZJ-2018-03546

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