Kompositionelle und strukturelle Charakterisierung von verspannten Si/SiGe-Heterostrukturen mit hochauflösender Transmissionselektronenmikroskopie

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Kompositionelle und strukturelle Charakterisierung von verspannten Si/SiGe-Heterostrukturen mit hochauflösender Transmissionselektronenmikroskopie - FZJ-2018-04542

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