TY  - JOUR
AU  - Liu, Sida
AU  - Chang, Keke
AU  - Mráz, Stanislav
AU  - Chen, Xiang
AU  - Hans, Marcus
AU  - Music, Denis
AU  - Primetzhofer, Daniel
AU  - Schneider, Jochen M.
TI  - Modeling of metastable phase formation for sputtered Ti1-xAlxN thin films
JO  - Acta materialia
VL  - 165
SN  - 1359-6454
CY  - Amsterdam [u.a.]
PB  - Elsevier Science85412
M1  - FZJ-2019-04058
SP  - 615 - 625
PY  - 2019
LB  - PUB:(DE-HGF)16
DO  - DOI:10.1016/j.actamat.2018.12.004
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/864220
ER  -