TY - CONF AU - Uhlenbruck, Sven TI - Sputtertechnologien für innovative Batteriekonzepte M1 - FZJ-2019-05136 PY - 2019 T2 - Vakuum und Plasma 2019 CY - 8 Oct 2019 - 10 Oct 2019, Dresden (Germany) Y2 - 8 Oct 2019 - 10 Oct 2019 M2 - Dresden, Germany LB - PUB:(DE-HGF)6 UR - https://juser.fz-juelich.de/record/865847 ER -