TY  - CONF
AU  - Uhlenbruck, Sven
TI  - Sputtertechnologien für innovative Batteriekonzepte
M1  - FZJ-2019-05136
PY  - 2019
T2  - Vakuum und Plasma 2019
CY  - 8 Oct 2019 - 10 Oct 2019, Dresden (Germany)
Y2  - 8 Oct 2019 - 10 Oct 2019
M2  - Dresden, Germany
LB  - PUB:(DE-HGF)6
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/865847
ER  -