Contribution to a book FZJ-2020-03652

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Electrical and structural properties of ternary rare-earth oxides on Si and higher mobility substrates and their integration as high-k gate dielectrics in MOSFET devices

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2011
Electrochemical Society (ECS) Pennington, NJ

Pennington, NJ : Electrochemical Society (ECS), ECS transactions 35, 461 - 479 ()

Classification:

Note: Record converted from VDB: 12.11.2012

Contributing Institute(s):
  1. Halbleiter-Nanoelektronik (PGI-9)
  2. Mikrostrukturforschung (PGI-5)
  3. Zentralabteilung für Chemische Analysen (ZCH)
  4. Jülich-Aachen Research Alliance - Fundamentals of Future Information Technology (JARA-FIT)
Research Program(s):
  1. Grundlagen für zukünftige Informationstechnologien (P42)

Appears in the scientific report 2011
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The record appears in these collections:
Dokumenttypen > Bücher > Buchbeitrag
JARA > JARA > JARA-JARA\-FIT
Institutssammlungen > ER-C > ER-C-1
Institutssammlungen > PGI > PGI-5
Institutssammlungen > PGI > PGI-9
Workflowsammlungen > Öffentliche Einträge
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 Datensatz erzeugt am 2020-10-02, letzte Änderung am 2024-06-10



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