Hauptseite > Publikationsdatenbank > Erosion behavior of Y 2 O 3 in fluorine‐based etching plasmas: Orientation dependency and reaction layer formation > Zugang zum Volltext
 
 
Main document Datei(en):
      jace.17556-1
    Version 1
    jace.17556-1.pdf [1.43 MB] 12 Jan 2021, 19:15 OpenAccess
Ähnliche Datensätze

JuSER :: Suchen :: Absenden :: Personalisieren :: Hilfe
Powered by Invenio v1.1.7 | join2_v2510-2-gd5e4e3e
Verwaltet von juser@fz-juelich.de

Impressum | Data Privacy Policy
Diese Seite gibt es auch in den folgenden Sprachen:
Deutsch  English