000894272 001__ 894272
000894272 005__ 20210803135508.0
000894272 013__ $$aWO2021115507 (A1)
000894272 0247_ $$2Patent$$a DE20191008601 20191212
000894272 0247_ $$2Patent$$aDE20191008601 20191212
000894272 037__ $$aFZJ-2021-03147
000894272 1001_ $$0P:(DE-Juel1)128613$$aMikulics, Martin$$b0$$ufzj
000894272 245__ $$aBauelementstruktureinheit
000894272 260__ $$c2021
000894272 3367_ $$2ORCID$$aPATENT
000894272 3367_ $$0PUB:(DE-HGF)23$$2PUB:(DE-HGF)$$aPatent$$bpatent$$mpatent$$s1627975166_22763
000894272 3367_ $$2DRIVER$$apatent
000894272 3367_ $$2BibTeX$$aTECHREPORT
000894272 3367_ $$015$$2EndNote$$aPatent
000894272 3367_ $$2DataCite$$aPatent
000894272 520__ $$aDie Erfindung betrifft eine Bauelementstruktureinheit für (Halbleiter-) Bauelemente, umfassend mindestens ein halbleitendes Basismaterial, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass auf das Basismaterial wenigstens eine Materialschicht so aufgebracht ist, dass diese Materialschicht ein inhomogen ausgestaltetes Dickenprofil entlang der Oberfläche, in Transportrichtung der Ladungsträger, im Bauelement ausbildet, mit der das Ladungsträgerkonzentrationsprofil und die Verteilung der Ladungsträger in einem (Halbleiter-) Bauelement gezielt beeinflusst werden kann.Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Bauelementstruktureinheit für (Halbleiter-) Bauelemente, mit der das Ladungsträgerkonzentrationsprofil und die Verteilung der Ladungsträger in einem (Halbleiter-) Bauelement gezielt beeinflusst werden kann.Die Erfindung betrifft darüber hinaus ein Halbleiter-Bauelement, enthaltend wenigstens eine erfindungsgemäße Bauelementstruktureinheit.
000894272 536__ $$0G:(DE-HGF)POF4-5353$$a5353 - Understanding the Structural and Functional Behavior of Solid State Systems (POF4-535)$$cPOF4-535$$fPOF IV$$x0
000894272 7001_ $$0P:(DE-Juel1)125593$$aHardtdegen, Hilde$$b1$$eCorresponding author$$ufzj
000894272 909CO $$ooai:juser.fz-juelich.de:894272$$pVDB
000894272 9101_ $$0I:(DE-588b)5008462-8$$6P:(DE-Juel1)128613$$aForschungszentrum Jülich$$b0$$kFZJ
000894272 9101_ $$0I:(DE-588b)5008462-8$$6P:(DE-Juel1)125593$$aForschungszentrum Jülich$$b1$$kFZJ
000894272 9131_ $$0G:(DE-HGF)POF4-535$$1G:(DE-HGF)POF4-530$$2G:(DE-HGF)POF4-500$$3G:(DE-HGF)POF4$$4G:(DE-HGF)POF$$9G:(DE-HGF)POF4-5353$$aDE-HGF$$bKey Technologies$$lMaterials Systems Engineering$$vMaterials Information Discovery$$x0
000894272 9141_ $$y2021
000894272 920__ $$lyes
000894272 9201_ $$0I:(DE-Juel1)ER-C-2-20170209$$kER-C-2$$lMaterialwissenschaft u. Werkstofftechnik$$x0
000894272 980__ $$apatent
000894272 980__ $$aVDB
000894272 980__ $$aI:(DE-Juel1)ER-C-2-20170209
000894272 980__ $$aUNRESTRICTED