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@TECHREPORT{Mikulics:894272,
      author       = {Mikulics, Martin and Hardtdegen, Hilde},
      title        = {{B}auelementstruktureinheit},
      reportid     = {FZJ-2021-03147},
      year         = {2021},
      abstract     = {Die Erfindung betrifft eine Bauelementstruktureinheit für
                      (Halbleiter-) Bauelemente, umfassend mindestens ein
                      halbleitendes Basismaterial, welches dadurch gekennzeichnet
                      ist, dass auf das Basismaterial wenigstens eine
                      Materialschicht so aufgebracht ist, dass diese
                      Materialschicht ein inhomogen ausgestaltetes Dickenprofil
                      entlang der Oberfläche, in Transportrichtung der
                      Ladungsträger, im Bauelement ausbildet, mit der das
                      Ladungsträgerkonzentrationsprofil und die Verteilung der
                      Ladungsträger in einem (Halbleiter-) Bauelement gezielt
                      beeinflusst werden kann.Die Erfindung betrifft weiterhin ein
                      Verfahren zur Herstellung einer solchen
                      Bauelementstruktureinheit für (Halbleiter-) Bauelemente,
                      mit der das Ladungsträgerkonzentrationsprofil und die
                      Verteilung der Ladungsträger in einem (Halbleiter-)
                      Bauelement gezielt beeinflusst werden kann.Die Erfindung
                      betrifft darüber hinaus ein Halbleiter-Bauelement,
                      enthaltend wenigstens eine erfindungsgemäße
                      Bauelementstruktureinheit.},
      cin          = {ER-C-2},
      cid          = {I:(DE-Juel1)ER-C-2-20170209},
      pnm          = {5353 - Understanding the Structural and Functional Behavior
                      of Solid State Systems (POF4-535)},
      pid          = {G:(DE-HGF)POF4-5353},
      typ          = {PUB:(DE-HGF)23},
      url          = {https://juser.fz-juelich.de/record/894272},
}