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001     896564
005     20210920140557.0
024 7 _ |2 BMBF
|a G:(BMBF)16ES1074
|d 16ES1074
024 7 _ |2 Dimensions
|a G:(Dimensions)grant.8715798
|d grant.8715798
035 _ _ |a G:(BMBF)16ES1074
150 _ _ |a Verbundprojekt: Erforschung nanoelektronischer Höchstleistungs-Bauelemente für innovative Elektronik auf Basis neuer Materialsysteme - ForMikro-SiGeSn-NanoFETs - , Teilvorhaben: CVD-basierte Herstellung von SiGeSn-Halbleiterheterostrukturen und vertikalen
|y 2019-10-01 - 2023-09-30
510 1 _ |0 I:(DE-588b)5309538-8
|a Federal Ministry of Education and Research
|b BMBF
909 C O |o oai:juser.fz-juelich.de:896564
|p authority:GRANT
|p authority
980 _ _ |a G
980 _ _ |a AUTHORITY

LibraryCollectionCLSMajorCLSMinorLanguageAuthor
Marc 21