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Low contact resistance of NiGeSn on n-GeSn
Sun, J.FZJ* ; Han, Y.FZJ* ; Junk, Y.FZJ* ; Concepción Díaz, O.FZJ* ; Bae, J. H.FZJ* ; Grützmacher, D.FZJ* ; Buca, D. M.FZJ* ; Zhao, Q.-T.FZJ*
2023
2023EUROSOI-ULIS 2023, TarragonaTarragona, Spain, 10 May 2023 - 12 May 20232023-05-102023-05-12
Contributing Institute(s):
- Halbleiter-Nanoelektronik (PGI-9)
Research Program(s):
- 5234 - Emerging NC Architectures (POF4-523) (POF4-523)
- Verbundprojekt: Erforschung nanoelektronischer Höchstleistungs-Bauelemente für innovative Elektronik auf Basis neuer Materialsysteme - ForMikro-SiGeSn-NanoFETs - , Teilvorhaben: CVD-basierte Herstellung von SiGeSn-Halbleiterheterostrukturen und vertikalen (16ES1074) (16ES1074)
Appears in the scientific report
2023