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Talk (non conference) (Invited) PreJuSER-40879
http://join2-wiki.gsi.de/foswiki/pub/Main/Artwork/join2_logo100x88.png
Formation of shallow junctions in Si-nanostructures

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2001

Ion Beam Processing of Semiconductors Workshop
Seminar, ErlangenErlangen, 10 Sep 20012001-09-10


Note: Record converted from VDB: 12.11.2012
Contributing Institute(s):
  1. Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente (ISG-1)
Research Program(s):
  1. Ionentechnik (29.87.0)

Appears in the scientific report 2001
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The record appears in these collections:
Dokumenttypen > Präsentationen > Vorträge (nicht Konferenz)
Institutssammlungen > PGI > PGI-9
Workflowsammlungen > Öffentliche Einträge
Publikationsdatenbank
 Datensatz erzeugt am 2012-11-13, letzte Änderung am 2018-02-10
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