Book/Report

FZJ-2020-02072

http://join2-wiki.gsi.de/foswiki/pub/Main/Artwork/join2_logo100x88.png Modular aufgebaute Universalkammer für Arbeiten und Versuche in Vakuum und beliebigen Atmosphären

Haas, H.FZJ* ; Delis, K.FZJ* ; Derichs, K.FZJ* ; Groß, D.FZJ* ; Wolf, W.FZJ*

1988
Kernforschungsanlage Jülich GmbH Zentralbibliothek, Verlag Jülich

Please use a persistent id in citations: http://hdl.handle.net/2128/24915

Report No.: Juel-Spez-0483

Abstract: Die Anwendung neuer Technologien ist in zunehmendem Maße damit gekoppelt, daß Prozesse und Handhabungen in Räumen ablaufen, die von der Atmosphäre gasdicht und druckfest getrennt sein müssen. Als Beispiel hierfür sind zu nennen die Entwicklungund Produktion von Bauteilen der Halbleitertechnik, die Erzeugung neuer Werkstoffe, die Wiederaufarbeitung von Kernbrennstoffen sowie die neuen Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen und Verbindungen zwischen verschiedenen odergleichen Werkstoffen. Die Notwendigkeit, den Raum, in dem ein Prozeß oder eine Handhabung abläuft, gasdicht und druckfest von der Umgebung abzukapseln, gilt dabei kontinuierlich für jeden Betriebszustand und für jede Phase des ablaufendenProzesses. Die als Beispiel genannten Anwendungsfälle sind von sehr unterschiedlicher Natur und stellen demgemäß auch unterschiedliche Anforderungen in Bezug auf Einrichtungen zur Durchführung und Steuerung der jeweiligen Prozesse und Handhabungsvorgänge. In der derzeitigen Praxis spiegelt sich diese Unterschiedlichkeit darin wieder, daß für nahezu jeden Einsatzfall neue Behälter, Einrichtungen und Manipulationsgeräte mit dem dazugehörigen Aufwand an Kosten und Zeit entworfen und realisiert werden. Diese Vorgehensweise ist sicherlich optimal, wenn Arbeiten oder Versuche über eine lange Zeit und im wesentlichen kontinuierlich in immer derselben Form anfallen, so daß die teuren Anlagen eine ausreichende Nutzung erfahren. Sobald aberder Fall eintritt, daß Arbeiten der verschiedensten Art oder kurzzeitige Versuche durchgeführt werden müssen, verursachen die speziell angepaßten Einrichtungen wegen der ungenügenden Nutzungsdauer meist einen unvertretbar hohen Aufwand an Kostenund Zeit. [...]

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Contributing Institute(s):

1. Publikationen vor 2000 (PRE-2000 ; Retrocat)

Research Program(s):

1. 899 - ohne Topic (POF3-899) (POF3-899)

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Database coverage:

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