Journal Article

PreJuSER-40397

http://join2-wiki.gsi.de/foswiki/pub/Main/Artwork/join2_logo100x88.png Photoenhanced wet etching of gallium nitride in KOH-based solution

Skriniarova, J.FZJ* ; Bochem, P.FZJ* ; Fox, P. T.FZJ* ; Kordos, P.FZJ*

2001
Inst. New York, NY

Note: Record converted from VDB: 12.11.2012

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Contributing Institute(s):

1. Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente (ISG-1)
2. Institut für Bio- und Chemosensoren (ISG-2)

Research Program(s):

1. Halbleiterbauelemente und Analytik (29.88.0)
2. Ionen- und Lithographietechnik (29.86.0)

Appears in the scientific report 2001

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